半導体用語集
るつぼ回転速度
英語表記：crucible rotation rate
単結晶が成長する時のるつぼの回転速度。るつぼをペデスタルでるつぼ軸に固定し、このるつぼにモータなどで機械的に回転を与える。単位は（rpm）で表示する。
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