半導体用語集
原子間力顕微鏡 AFM
英語表記：atomic force microscope
接近する2つの物体間には、引力や斤力が働く現象を利用して、試料に近接させた微細な探針を機械的に走査させながら、これらの力を検出し、試料表面の原子分子レベルの凸凹を画像化する顕微鏡。
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