半導体用語集
すべり系、すべり面
英語表記:slip system、slip planc
転位は体力が加わると容易に運動し、この運動をすべり(slip)と呼び、すべり面(slip plane)とすべり方向からなるすべり系
(slip system)は結晶構造によって決まる。シリコンの結晶はダイヤモンド構造を持ち、この構造では面心立方構造と同じく、すべり面は{111}、すべり方向は<110>、バーガースペクトルはb=a/2<110>となる。
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