半導体用語集
SPM法
英語表記：SPM method
80年代に入ってから発明または実現された，STM（Scanning Tunneling Microscope；走査型トンネル顕微鏡）に代表されるSPM（走査型プローブ顕微鏡）法は，故障解析において高空間分解能化を目指すための有力候補である。
故障解析への応用はSTM以外にAFM（Atomic Force Microscope；原子間力顕微鏡），MFM（Magnetic Force Microscope；磁気力顕微鏡），SKPM（Scanning Kelvin Probe Microscope；走査型ケルビンプローブ顕微鏡），NOM（Near-field Optical Microscope；近接場光学顕微鏡，SNOMとも略される：Scanning Near-field Optical Microscope)，SThM（Scanning Thermal Microscope；走査熱顕微鏡）など多くの報告があるが，まだ日常の故障解析手法としては定着していない。
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