半導体用語集
TMAH
英語表記：tetramethyl ammonium hydroxide
水酸化テトラメチルアンモニウム(CH3)4NOHを略してTMAHと言われる。この溶液は強アルカリ性を有することで知られている。そのため、レジストの現像液や、WAX等の有機物を除去するための洗浄液にも用いられている。洗浄液として用いられる場合は、濡れ性、剥離性、均一性を高めるために、界面活性剤や、酸化剤を添加した形で用いられることが多い。
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