半導体用語集
イオン温度
英語表記：Ionic temperature
プラズマ内のイオンの熱運動の大きさを表わす指標としてイオン温度Tiを定義する。すなわち、質量mのイオンの速度分布関数をf(v)とすれば、イオンの平均熱運動エネルギーは、
(数式)
と与えられ、平均熱速度は<vi>= √(kTi/m)となる。イオンは、電界からエネルギーをもらって加熱される質量の軽い電子と衝突してもエネルギーの交換をほとんどしないが、重いガス分子と衝突するとほとんどのエネルギーを失うので、一般に低圧力の弱電離プラズマでは電子温度は、Te(～lev)》Ti(0.2eV)>ガス温度(0.05eV)となる。大気圧に近い熱プラズマでは衝突が激しく起こるので、熱平衡状態となり、三者の温度はほぼ等しくなる。
関連製品
「イオン温度」に関連する製品が存在しません。キーワード検索
フリーワードやカテゴリーを指定して検索できます
関連用語
関連特集
「イオン温度」に関連する特集が存在しません。
会員登録すると会員限定の特集コンテンツにもアクセスできます。
