半導体用語集
マックスウェル・ボルツマン分布
英語表記：Maxwell-Boltzman distribution
N個の粒子のうちで速さがvとv+dvの間にあるものの数を、dN = NF(v)dv と表わす時、F(v)を速度分布関数という。粒子が温度Tの熱平衡状態にある時は、（式1）となることが理論的に導かれ、これをマックスウェル・ボルツマン分布、または、マックスウェル分布などと呼ばれる。
速度空間 (vx, vy, vz) で考えて、微小体積 dvxdvydvz の中に入る粒子の数を、dN = Nf(vx, vy, vz)dvxdvydvzと表わす時、上のマックスウェル分布は、（式2）と書くこともできる。プラズマ中の電子やイオンは、特に低圧力で衝突が少ない場合は非平衡となるので、マックスウェル分布からずれることが知られている。大気圧に近いような高圧力の高密度プラズマでは粒子間の衝突がひんぱんに起こるので、電子温度、イオン温度、ガス温度の三者がほぼ等しい熱平衡状態となる。
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