半導体用語集
蒸発源
英語表記：evaporation
真空蒸着法において膜材料となる蒸発材料を蒸発させるための加熱源。抵抗加熱蒸発源、電子ビーム蒸発源、誘導加熱蒸発源が代表的な蒸発源である。
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