半導体用語集
触媒樹脂脱酸素装置
英語表記：oxyducgen reduction equipment with catalytic resin
パラジウムを担持させたイオン交換樹脂に還元剤を混ぜて水を供給し、水中の溶存酸素を除去する装置。パラジウムの触媒作用により、水素ガスまたはヒドラジンと水中の溶存酸素を反応させ除去する。溶存酸素以外の溶存ガスは除去できない。
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