半導体用語集
不織布
英語表記：unwoven fabric
繊維を網状またはマット状に配列させ、接着剤や繊維自身の融着力によって繊維相互を接合させて得られるシート状の布をいう。綿などの天然繊維、ポリエステルなどの合成繊維、ガラス繊維などが繊維として使用され、防縮性、耐水、耐溶剤性に優れ、軽くて通気性の良い布ができる。半導体デバイスの製造プロセスでは、超精密平面研磨に使用される研磨パッドの下地布として使用される。その場合は、原料にポリエステル繊維を使用し乾式法によって成型した不織布が一般的に使用されている。下地布に不織布を使用した研磨パッドは、不織布とポリマーの組み合わせでいろいろの特性を有する研磨パッドができ、シリコン単結晶ウェーハ、化合物半導体ウェーハなどの鏡面研磨、半導体デバイスの多層配線化を行うときのCMP用2層研磨パッドの下地材などに使用される。
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フジボウ愛媛株式会社
シリコンウエハー、半導体材料、光学レンズ、金属などのストックリムーバル（一次研磨）用に開発された不織布タイプの研磨材です。
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