半導体用語集
電子線回折法
英語表記：electron diffraction
電子は粒子として振る舞うと同時にド・ブロイ波として振る舞い波動特有の現象を示す。電子波の波長は加速電圧の平方根に逆比例し約0.01nm（加速電圧：15kV）～約0.1nm（150V）程度である。この波長はX線と同程度以下であり，したがって電子線を結晶に照射すると回折現象が生じる。この電子の波としての性質を用い，結晶薄膜や結晶表面の解析を行う手法が電子線回折法である。
加速電圧が数100V以下の入射電子線を用いた低速電子線回折法と，加速電圧が数10kVから数100kVの電子線を用いた高速電子線回折法に大別される。
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