半導体用語集
スピンモータ 立ち上がり特性
英語表記：acceleration
スピンモータを始動してから所定の回転数に達するまでの過渡特性のこと。膜厚の均一化に重要な項目の一つである。通常、回転加速度「rpm/s」（またはrad/s²）で表される。
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