半導体用語集
マルチステップ処理
英語表記：multi-step processing
異なった温度領域のプロセスをin-situで連続処理を行う事。通常、高速昇降温が可能なシステムを用いる事で、ゲート絶縁膜形成におけるSiON、フラッシュインターポリ層の連続形成など多様なアプリケーションが紹介されている。
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