半導体用語集
レジスト剥離液
英語表記：resist stripper
微細加工プロセスにおいて、エッチング終了後、不要になったウェーハ上のレジストを剥離除去する溶液。レジストを酸化して除去する無機系剥離液とレジストを膨潤させて除去する有機系剥離液に大別される。
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