半導体用語集
枚葉式
英語表記：single wafer processing
ウェーハを1枚ずつ処理する方式。
関連製品
SiCウェーハ向け枚葉式自動洗浄装置
PHT株式会社
本装置は、φ150mm（6") ・φ200mm（8"）対応の SiCウェーハ枚葉式洗浄装置です。 ウェーハは、25枚入カセットでLD側に作業者がセットします。 洗浄後のウェーハは、ULD側にセットされたクリーンなカセットに収納されます。
半導体製造装置・試験／検査装置・関連部品 › 洗浄装置・ウェット処理装置 › 枚葉式洗浄装置
枚葉式複合モジュール型成膜加工装置 uGmni-200, 300
株式会社アルバック
スパッタリング、エッチングなど複数の異なるプロセスモジュールを同一搬送コアに搭載し、柔軟なプロセス対応が可能
半導体製造装置・試験／検査装置・関連部品 › 成膜装置 › スパッタリング装置
CME-200/400
株式会社アルバック
枚葉式PE-CVD装置 CME-200E/400は、シリコン系の絶縁膜・バリア膜等の成膜に最適な、量産用PE-CVD装置です。
半導体製造装置・試験／検査装置・関連部品 › 成膜装置 › CVD装置
CMDシリーズ
株式会社アルバック
CMDシリーズはSiH4やTEOSを用いたa-Si膜、シリコン酸化膜、窒化膜成膜用枚葉式CVD装置です。
半導体製造装置・試験／検査装置・関連部品 › 成膜装置 › CVD装置
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