枚葉式（single wafer processing） | 半導体用語集 |半導体/MEMS/ディスプレイのWEBEXHIBITION（WEB展示会）による製品・サービスのマッチングサービス SEMI-NET（セミネット）

英語表記：single wafer processing

ウェーハを1枚ずつ処理する方式。

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