半導体用語集
コージェネレーション
英語表記：co-generation
石油やガスを燃料としてディーゼルエンジン、ガスタービンなどを用いて動力や電力に変換し、その排熱を冷暖房などの熱エネルギーに利用するもの。燃料を効率よく使用できる。半導体工場での採用件数も増加している。
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