半導体用語集
ファラデーカップ
英語表記：Farady Cups
イオン注入装置は、注入イオンのビーム電流値を計測することにより定量的に不純物濃度を制御できる。このための計測部にはファラデーカップが用いられている。ファラデーカップは図のように、カップ状の電極の奥にターゲット基板（ウエハ）を設置した構造になっている。このファラデーカップで、イオンビーム電流を計測・積算してイオンの注入量を正確に知ることができる。カップ状の構造になっているのは、注入時に発生する2次電子を逃さないようにするためであり、更に2次電子を押し戻すために更にバイアスされたサプレッションを備えるのが一般的である。
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