半導体用語集
リネージ
英語表記：lineage
構造的にみれば転位列をなしているので、エッチングにより転位ピットの列として見え、結晶の質を評価する場合、転位ピットの密度が25ピット/mm2以上でピット列の長さが0.5mm以上の欠陥。
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