半導体用語集
ビームエネルギー
英語表記：beam energy
イオンビームを構成するイオンのもつ運動エネルギー。特に、ターゲットにおいてイオンビームのもつ運動エネルギーをいうことが多い。その場合、イオンはこのビームエネルギーで試料に注入される。
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