半導体用語集
相対湿度
英語表記：relative humidity
HASTにおける相対湿度の定義は次の式による。
相対湿度＝加湿水温度に相当する飽和水蒸気圧÷試験空間温度に相当する飽和水蒸気×100
この式では、相対湿度は各々の水蒸気圧の比として表している。本来は各々の圧力を計測する必要があるが、同一空間内で直接圧力を計測することは不可能なため、、各々の圧力を各々の温度から換算する方法を用いる。
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