半導体用語集
アークチャンバ
英語表記：arc chamber
アーク放電を利用したイオン源のプラズマ生成室。代表的イオン源として、フリーマン型が挙げられる。このイオン源では、フィラメントとアークチャンバ間に約100Vの電圧が印加され、生成されたイオンは、アークチャンバスリットから引き出される。
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