半導体用語集
クレイドル
英語表記：cradle
遠心乾燥装置の回転部（ロータターンテーブル）に複数のカセットを収納するための取り付け枠。ウェーハ搬入時には挿入口が垂直方向に開口し、運転時にはウェーハ面が水平になるよう、90度回転する。
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