半導体用語集
ウェーハ表面検査
英語表記：wafer surface inspection
鏡面（パターニング前）ウェーハ表面の傷の大きさや形状、又は表面界質などの検査。
関連製品
LSシリーズ
株式会社日立ハイテク
ウェーハ表面検査装置LSシリーズは，パターンなし（鏡面）シリコンウェーハ上に存在する微小異物や欠陥を検査する装置です。
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