半導体用語集

ウェーハ表面検査

英語表記:wafer surface inspection

鏡面(パターニング前)ウェーハ表面の傷の大きさや形状、又は表面界質などの検査。



関連製品

LSシリーズ

株式会社日立ハイテク

ウェーハ表面検査装置LSシリーズは,パターンなし(鏡面)シリコンウェーハ上に存在する微小異物や欠陥を検査する装置です。

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