半導体用語集
自己診断機能 ダイアグ
英語表記：self diagnostic function
装置各部の機能、精度が正常であるか否かを、自己の機能を使用して、自動的に判定するための機能。（この際、基準となる治具等を称して、ダイアグボード（診断ボード）と呼ぶ。）
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