半導体用語集
プラズマ分離型プラズマエッチング装置
英語表記：down stream plasma etching system
プラズマ発生室とエッチング室が分離され、プラズマ発生室で生成された比較的長寿命の中性活性種をエッチング室に輸送してウェーハをエッチングするプラズマエッチング装置。イオン等の荷電粒子に起因したダメージを避けることが出来る。
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