半導体用語集
格子間型拡散
英語表記：interstitial diffusion
固体結晶中において不純物原子が、結晶の格子点と格子点との間に入り込み、この間を通り抜けて拡散する場合を格子間型(interstitial)拡散という。この拡散の様子を図1に示す。Si中において深い準位を形成するCu、 Fe、Au、Ptなどの金属は、通常、格子間型で拡散する。格子間型拡散では、拡散係数は置換型拡散を行うドーパントの拡散係数にくらべて、数桁大きい。この格子間型拡散は,置換型拡散の一つの機構であるinterstitialcy機構と名称は似通っているがまったく異なる機構である。
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