半導体用語集
レジストノズル
英語表記：resist nozzle
ウェハ上にレジストを輸送、吐出させる配管の最先端部。スピンチャックに載置されたウェハの中心直上に位置した状態でレジスト吐出を行う。吐出時のみウェハ直上に移動するのが一般的である。フッ素系樹脂やステンレスでできており、吐出精度向上、レジスト垂れ落ち防止のために、構造、寸法（内径、外径）が工夫されている。
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