半導体用語集
カラムアライメント
英語表記：column alignment
電子ビームの軸合せ及び電子光学系のレンズの中心に電子ビームを通過させるための調整。カソード、スペクトルメータなどの機械的なアライメントとビーム、アパーチャなどの電気的なアライメントがある。
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