半導体用語集

ミディアムカレントイオン注入装置

英語表記:Medium Current Ion Implantation System

イオン注入装置のなかで中エネルギー、低/中ドーズ領域をカバーする装置をミディアムカレント:中電流注入装置と呼ぶ。用途として、チャネル、パンチスルーストップ、ツインウェルの一部、LDD、ポケット/ハロー等の形式に用いられる。


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