半導体用語集
ミディアムカレントイオン注入装置
英語表記：Medium Current Ion Implantation System
イオン注入装置のなかで中エネルギー、低/中ドーズ領域をカバーする装置をミディアムカレント：中電流注入装置と呼ぶ。用途として、チャネル、パンチスルーストップ、ツインウェルの一部、LDD、ポケット/ハロー等の形式に用いられる。
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