半導体用語集
ウェーハディスク
英語表記：wafer disk
バッチ処理が可能なようにウェーハを数枚～十数枚装填できるようにした円板。注入均一性の確保と熱によるウェーハのダメージを回避するために高速回転させ、また同時に並進運動させることもある。
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