半導体用語集
気流速度
英語表記：airflow velocity
一方向流形クリーンルームにおける一方向流を形成する空気の速度。粒子汚染物の排出能力、熱気流の影響低減、省エネルギーなどを考慮し一般的に、気流速度は0.25～0.5ｍ/sが用いられる。
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