半導体用語集
主放電
英語表記：main discharge
TEA CO2レーザの主の励起手段。スパークギャップ又はサイラトロンで放電をトリガし、予備放電を誘起し、レーザ共振器内にレーザ発振に必要な主の放電励起となるグロー放電を起こす。
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