半導体用語集
液体微粒子計
英語表記：liquid borne particle counter
超純水中に浮遊する微粒子の大きさと数あるいは粒子濃度を自動的に測定する計器。原理は光散乱式が用いられる。薬液用には、耐腐食性の材質で検出部を構成した薬液用粒子カウンタがある。
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