半導体用語集
多極プラズマ スパッタリング装置
英語表記：thermoionic sputtring system
熱陰極放電を利用したスパッタリング装置。熱電子供給用フィラメント、対向アノード、カソードの3極を持つ3極プラズマスパッタリング装置と、フィラメント前部に熱電子制御用グリッド電極を付加して4極とした4極プラズマスパッタリング装置がある。
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