半導体用語集
サーボモータ
英語表記：servo motor
サーボモータとは一般のモータとの比較において、特に定められた定義はない。一般的には制御特性が一般のモータに比較してよいことがあげられる。モータにおける制御特性とは、すなわち制御信号に速く追従するために、機械的および電気的な時定数が小さいこと、トルク-速度特性、電流-トルク特性の直線性がよく、かつ正回転と逆回転特性にその差がないことなどがあげられるが、さらに以下の特性を有することが必要である。
・可変速範囲が広く（1,000倍程度）、応答性が高い（機械的時定数として10から100ms程度）、また低速でのW/F（ワウウラッタ、回転ムラ）、トルクリップルが小さいこと。
・頻繁に始動、停止、逆転また速度の変更が行われるため強度が高いこと。
・パワーレートが高く、加減速トルクが大きいこと。
・過負荷耐量が大きいこと。
・機械的共振周波数が高く、低振動、低騒音特性を有すること。
その種類としては、モータの構造からACサーボモータおよびDCサーボモータ（図1）があり、さらにVACサーボモータは、インダクション型（IM型ACサーボモータ（図2)）と同期型（SM型ACサーボモータ（図3)）に分類される。
ともに、通常サーボドライバと呼ばれる制御・駆動回路を必要とし、マイコンあるいはDSPによる制御回路およびIGBTやFETあるいはそれらのモジュールからなる出カドライバ回路、出力電流検出用ADコンバータなどによって制御、駆動され前述の必要特性をえている。
モータの制御とは制御3要素、すなわち駆動コイルを流れる電流（あるいは電流と比例するトルク）、回転子の位置および回転子の速度を制御するものであるが、電流の検出には電流トランスや低抵抗、出力駆動素子の一部のソース電極を取り出したFETなどを利用し、速度検出にはロータリエンコーダ（通常内部には光センサおよびLED）が利用されているが位置検出信号をDSPあるいはマイコンによって微分処理をして利用することもできる。位置検出にはレゾルバやホールセンサなどが利用されている。
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