半導体用語集
パーティクルカウンタ
英語表記：particle counter
空気中に浮遊している微粒子の数と個数を測定する機器。微粒子にレーザビームを照射すると光錯乱を生じるが、この錯乱強度はレーザ光強度、波長、偏光、錯乱方向、粒子屈折率および粒径の関数となる。したがって、錯乱光強度を検出すればその信号パルス波から粒径がわかり、信号パルス数から粒子濃度を知ることができる。実際の装置では、He-Neレーザの共振キャビティ内にサンプルエアーを導き、レーザ光束と交わる。微粒子の通過により生じた錯乱光を高効率の集光光学系により集光、光電変換し、えられた情報パルスを計数処理する。また、液体中のパーティクルを計るカウンタも同様原理で制作されている。最小検出粒径は0.05µm程度まで計測可能。
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