半導体用語集
カセット
英語表記：cassette
正式にはコンパクトカセット（compact cassette）のことであり、Cカセットと呼ぶ場合もある。オランダのフィリップス社がオープンリール取り扱いを改善するため現在の形状に入れたものとして開発。
カートリッジ式ともいわれるように供給リールと巻き取りリールを一つのケースに収めた機構である。
メカにはワンウェイ方式（一方向のみ）とオートリバース方式（二方向）があり、使用される半導体はメカに応じてそれぞれ使い分けされている。音声信号の再生カーブはNAB（ナブ）と呼ばれる特性に準拠しており、メタル／ノーマルのようにテープの種類によって若干可変される。
最近ではノイズ低減の目的で米国DOLBY（ドルビー）社が開発したDOLBY-BもしくはCの機能と曲の頭出し機能である曲間選曲を1チップにしたICも市場に出回っている。
関連製品
SiCウェーハ向け枚葉式自動洗浄装置
PHT株式会社
本装置は、φ150mm（6") ・φ200mm（8"）対応の SiCウェーハ枚葉式洗浄装置です。 ウェーハは、25枚入カセットでLD側に作業者がセットします。 洗浄後のウェーハは、ULD側にセットされたクリーンなカセットに収納されます。
半導体製造装置・試験／検査装置・関連部品 › 洗浄装置・ウェット処理装置 › 枚葉式洗浄装置
CE-L
株式会社アルバック
小型エッチング装置CE-Lは、「大気カセット」、「1枚仕込み大気搬送」、「真空搬送」等の自由な組み合わせが可能です。
半導体製造装置・試験／検査装置・関連部品 › エッチング装置 › その他
CS-L
株式会社アルバック
実験用小型スパッタリング装置CS-Lは、「大気カセット」、「1枚仕込み」、「大気搬送」、「真空搬送」、「スパッタ室」の各モジュールの自由な組み合わせが可能です。
半導体製造装置・試験／検査装置・関連部品 › 成膜装置 › スパッタリング装置
ウェーハカセットチェンジャー
PHT株式会社
キャリア間のシリコンウェーハの移し替えを搬送ロボットにて自動で行う装置
半導体製造装置・試験／検査装置・関連部品 › 搬送／ハンドリング装置 › 工程間／装置間搬送装置
キーワード検索
フリーワードやカテゴリーを指定して検索できます
関連用語
関連特集
会員登録すると会員限定の特集コンテンツにもアクセスできます。
