半導体用語集
環境分析・測定機器
英語表記：environmental analyzer measurement tools
半導体製造環境は微粒子、気流、電磁場、振動など様々な環境因子の変動影響を受ける。したがって、クリ ーンルームではこれらの環境因子はある一定レベル内に制御されている。これらが一定レベル内で制御されているかどうかを計測するのが環境分析であり、その時に使用されるのが測定機器である。測定機器は測定したい環境因子によって様々な機器が使い分けられている。
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