東京エレクトロン株式会社の製品一覧

Tactras Vesta
東京エレクトロン株式会社

PDCテクノロジ搭載300mm対応プラズマエッチング装置

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Tactras Vigus
東京エレクトロン株式会社

3次元構造に対応して高信頼性と高生産性を提供する300mmウェーハプロセス対応プラズマエッチング装置

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NT-333
東京エレクトロン株式会社

セミバッチ式成膜装置

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TELINDY PLUS
東京エレクトロン株式会社

短TAT熱処理技術対応熱処理装置

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CLEAN TRACK LITHIUS Pro Z
東京エレクトロン株式会社

EUVなど最新リソグラフィ技術対応300mmウェーハプロセス用レジスト塗布現像装置

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東京エレクトロン 株式会社


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