ディスプレイ製造装置・試験／検査装置・関連部品の製品一覧
フラットパネルディスプレイ（FPD）の製造・試験・検査のプロセスを処理する装置、および装置で使用される部品、ユニット、モジュール
ESA型
株式会社荏原製作所
ESA型は、MO-CVD等の大流量軽ガス排気性能及びLCDスパッタ装置・真空乾燥プロセス・大型ロードロック室等の高速排気性能に優れ、負荷に応じた回…
詳細を確認する
ESR型
株式会社荏原製作所
ESR型は、ロードロック室・SEM等軽負荷用途から腐食性プロセスまでの幅広いアプリケーションを対象とし、排気速度可変機能・通信機能等の付加価…
詳細を確認する
PDV型
株式会社荏原製作所
PDV型は、画期的な超軽量（20kg以下）、空冷、オイルフリー構造を持つユニークなドライ真空ポンプです。到達圧力0.5Pa以下を発揮しながら低振動…
詳細を確認する
EST型
株式会社荏原製作所
EST型は、反応副生成物が形成されるCVD等向けにスクリュー形ロータを採用し、許容流入ガス量増大・耐食性能・排気速度可変機能・通信機能等の付…
詳細を確認する
チラー（Chiller）
株式会社日立ハイテク
チラーは、冷媒サイクルにより温度調整した液体(熱媒体)を対象装置に循環・熱交換させることで、対象装置温度を一定に保つ装置です。半導体製造…
詳細を確認する
「ディスプレイ製造装置・試験／検査装置・関連部品」の関連企業一覧
株式会社
フジキン
あらゆる最先端産業の分野を見つめる私たちは、今後、新素材を含め高分子化学やバイオテクノロジー、新エネルギー、エコロジー、マイクロマシン…
詳細を確認する
株式会社
荏原製作所
産業機械メーカである荏原は、Core Competenceを技術力と捉えています。製品のみならず、生産、品質管理や納入後の改造・メンテナンスまでのあら…
詳細を確認する
関連企業一覧
