カテゴリー
- 真空バルブ（ゲートバルブ、ベンドロールバルブ）
- オーリング
- シール／フランジ
- 真空開閉シャッタ
- ステージ（リニアモータ）
- リニアモータ駆動システム
- 静電チャック
- 熱電対／パイロメータ
- サセプタ
- センサ（温度、湿度、圧力、流量など）
- 各種保護材料（消耗材料）
- マスフローコントローラ
- ガスバルブ
- 薬液バルブ
- キャピラリー
- 薬液用ポンプ
- テフロン（半導体グレード）
- SASU（半導体グレード）
- 大気ロボット
- 真空ロボット
- リニアモータ搬送システム
- 制御ボード
- 制御用PLC（国内供給）
- 制御用パソコン（国内）
- モータ／サーボモータ
- RF電源／その他電源
- クライオポンプ
- ターボ分子ポンプ
- ドライポンプ
- チラー
- 防塵衣
- エンドポイントモニタ
- ケーブル／光ファイバ
- 真空バルブ
- オーリング
- 真空シール／フランジ
- 真空開閉シャッタ
- ステージ（リニアモータ）
- リニアモータ駆動システム
- 静電チャック
- 熱電対／パイロメータ
- センサ（温度、湿度、圧力、流量など）
- 各種保護材料（消耗材料）
- ヒータ（蒸着装置向け）
- サセプタ（半導体にも追加）
- マスフローコントローラ
- ガスバルブ
- 薬液バルブ
- キャピラリ／ディスペンサ
- ノズル（スプレーノズル、スリットノズルなどを含む）
- インクジェットヘッド（ノズル）
- 薬液用ポンプ
- スペーサ供給ユニット
- コロナガン
- テフロン（半導体グレード）
- SUS（半導体グレード）
- 大気ロボット
- 真空ロボット
- リニアモータ搬送システム
- 制御ボード
- 制御用PLC（国内供給）
- 制御用パソコン（国内）
- モータ／サーボモータ
- RF電源／その他電源
- クライオポンプ
- ターボ分子ポンプ
- ドライポンプ
- チラー
- レーザ光源
- 赤外線検出器
- シリコン
- 化合物半導体
- マスク基板
- マスクブランクス
- フォトマスク
- g・i線レジスト／現像液
- KrFレジスト／現像液
- ArFレジスト／現像液
- AｒF液浸レジスト／現像液
- EUVレジスト／現像液
- ターゲット材
- CVD・ALD用成膜材料(High-k材料/low-k材料/その他）
- クリーニングガス
- めっき材料
- コーティング材料
- イオンドーピングガス
- 厚膜・その他レジスト
- エッチング液
- エッチングガス
- スラリー
- パッド
- パッドコンディショナ
- 洗浄液
- 超純水・機能水
- サブストレート（パッケージ基板）／インターポーザ
- TAB・COFテープ 接着剤 接着テープ
- 接着剤 接着テープ
- アンダーフィル
- ボンディングワイヤ
- リードフレーム
- はんだボール
- 封止樹脂
- セラミックパッケージ
- フリップチップ用エポキシ樹脂封止材
- バックグラインディングプロセス用テープ/ウエハレベルCSP用裏面保護フィルム
- ダイシング／ダイボンディング用フィルム
- その他フィルム
- マスク基板
- マスクブランクス
- フォトマスク
- ガラス基板（液晶）
- ガラス基板（OLED用）
- Crガス、薬液、Si
- Cr、ITO
- カラーフィルタ用色材（カラーレジスト/顔料）、インクジェット用インク
- フォトレジスト、現像液
- 配向膜材料（SiO2）：CVDガス材料、ポリイミド（樹脂）
- 液晶材料
- スペーサ材料（シリコン球）
- シール（封止）材（接着剤）／メインシール材／仮接着剤
- 液晶注入口封止材（紫外線硬化樹脂材料）
- 偏光フィルム
- 基板（仮配置基板）
- ポリイミド樹脂
- 正孔注入層材（有機膜）
- 正孔輸送層材（有機膜）
- 電子注入層材料（有機膜、金属化合物薄膜
- 電子注入層材料（有機膜、金属化合物薄膜
- 高分子有機EL材料
- 有機EL材料（蒸着用）
- 蒸着材料
WET洗浄装置
100mm角の実験機から2,000mm以上の量産機まで対応！カスタマイズ装置の実績多数あり。弊社工場でのサンプルテストも受付中。
弊社はガラスをはじめ、金属、樹脂など様々な素材の精密洗浄・現像、エッチング、剥離などのウェット処理装置を、お客様のニーズに合わせてご提案致します。
弊社独自の搬送機構により、パーティクルの発生を抑制。
液処理部は、置換性能向上・プロセスの均一化のため傾斜搬送方式を採用し、薬液使用量の削減と高い歩留りを実現しています。
★弊社工場でのサンプルテスト（洗浄・現像・エッチング・剥離）も、
テストレポートも含めて好評を頂いております。
ぜひ一度お声かけ下さい。
基本情報
◎基本仕様
基板サイズ 300×300～400×500mm
基板厚さ 0.4～1.1mm
ライン構成 I型、U型
流れ方向 左流れ、右流れ選択可能、傾斜の選択が可能
搬送 エッチングユニット：水平、傾斜の選択が可能
水洗、乾燥ユニット：傾斜搬送
機能 各ユニットで処理時間を設定可能なタクト送り方式」
◎バリエーション
・クリスタルフローを採用することでデータ収集やリモートメンテナンスにも対応可能
・各種エッチング装置対応（AL,CR,SIN,ITOなど）
・洗浄、現像装置の製作も対応可能
・エアーナイフ圧力自動設定機能の追加により歩留向上
取扱企業
株式会社FEBACS
業種：産業用機械 所在地：滋賀県 彦根市高宮町 480-1 株式会社SCREENホールディングス 彦根事業所内3KF
Fpd Eqipment Before service & After service Customer Support この頭文字（大文字）をつなぎ合わせたものです。
社名の通り、お客様へのサービスを中心として事業継続してきた会社です。
昨今、装置のアフターサービスでの困りごとを耳にする機会が増加しており、またメーカから弊社に対してアフターサービスの協力要請も増加しています。
装置自体のクオリティはもとより、アフターサービスの重要性を再認識されるお客様が増加していることも事実です。弊社は、長年安心してお使い頂けるよう、装置を納入するだけではなく、立上げからプロセス協力、保守メンテナンスを全力で行います。
WET洗浄装置 へのお問い合わせ
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WET洗浄装置
