ディスプレイ製造装置・試験/検査装置・関連部品の製品一覧

フラットパネルディスプレイ(FPD)の製造・試験・検査のプロセスを処理する装置、および装置で使用される部品、ユニット、モジュール

EST型は、反応副生成物が形成されるCVD等向けにスクリュー形ロータを採用し、許容流入ガス量増大・耐食性能・排気速度可変機能・通信機能等の付…

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玉軸受タイプターボ分子ポンプ

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磁気軸受タイプのターボ分子ポンプ

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FCS-T1200MF-HTシリーズ
株式会社フジキン

高温対応モデル

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FCS-T1500Fシリーズ
株式会社フジキン

大流量モデル

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FCS-T1200Fシリーズ
株式会社フジキン

大流量モデル

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FCS-TM39シリーズ
株式会社フジキン

表示器一体型モデル

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PCS-T1000Fシリーズ
株式会社フジキン

外部圧力センサ対応モデル

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FCS-T1000Lシリーズ
株式会社フジキン

高精度モデル

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FCS-T1000M(Z)F-HTシリーズ
株式会社フジキン

高温対応モデル

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