カテゴリー
- 真空バルブ（ゲートバルブ、ベンドロールバルブ）
- オーリング
- シール／フランジ
- 真空開閉シャッタ
- ステージ（リニアモータ）
- リニアモータ駆動システム
- 静電チャック
- 熱電対／パイロメータ
- サセプタ
- センサ（温度、湿度、圧力、流量など）
- 各種保護材料（消耗材料）
- マスフローコントローラ
- ガスバルブ
- 薬液バルブ
- キャピラリー
- 薬液用ポンプ
- テフロン（半導体グレード）
- SASU（半導体グレード）
- 大気ロボット
- 真空ロボット
- リニアモータ搬送システム
- 制御ボード
- 制御用PLC（国内供給）
- 制御用パソコン（国内）
- モータ／サーボモータ
- RF電源／その他電源
- クライオポンプ
- ターボ分子ポンプ
- ドライポンプ
- チラー
- 防塵衣
- エンドポイントモニタ
- ケーブル／光ファイバ
- 真空バルブ
- オーリング
- 真空シール／フランジ
- 真空開閉シャッタ
- ステージ（リニアモータ）
- リニアモータ駆動システム
- 静電チャック
- 熱電対／パイロメータ
- センサ（温度、湿度、圧力、流量など）
- 各種保護材料（消耗材料）
- ヒータ（蒸着装置向け）
- サセプタ（半導体にも追加）
- マスフローコントローラ
- ガスバルブ
- 薬液バルブ
- キャピラリ／ディスペンサ
- ノズル（スプレーノズル、スリットノズルなどを含む）
- インクジェットヘッド（ノズル）
- 薬液用ポンプ
- スペーサ供給ユニット
- コロナガン
- テフロン（半導体グレード）
- SUS（半導体グレード）
- 大気ロボット
- 真空ロボット
- リニアモータ搬送システム
- 制御ボード
- 制御用PLC（国内供給）
- 制御用パソコン（国内）
- モータ／サーボモータ
- RF電源／その他電源
- クライオポンプ
- ターボ分子ポンプ
- ドライポンプ
- チラー
- レーザ光源
- 赤外線検出器
- シリコン
- 化合物半導体
- マスク基板
- マスクブランクス
- フォトマスク
- g・i線レジスト／現像液
- KrFレジスト／現像液
- ArFレジスト／現像液
- AｒF液浸レジスト／現像液
- EUVレジスト／現像液
- ターゲット材
- CVD・ALD用成膜材料(High-k材料/low-k材料/その他）
- クリーニングガス
- めっき材料
- コーティング材料
- イオンドーピングガス
- 厚膜・その他レジスト
- エッチング液
- エッチングガス
- スラリー
- パッド
- パッドコンディショナ
- 洗浄液
- 超純水・機能水
- サブストレート（パッケージ基板）／インターポーザ
- TAB・COFテープ 接着剤 接着テープ
- 接着剤 接着テープ
- アンダーフィル
- ボンディングワイヤ
- リードフレーム
- はんだボール
- 封止樹脂
- セラミックパッケージ
- フリップチップ用エポキシ樹脂封止材
- バックグラインディングプロセス用テープ/ウエハレベルCSP用裏面保護フィルム
- ダイシング／ダイボンディング用フィルム
- その他フィルム
- マスク基板
- マスクブランクス
- フォトマスク
- ガラス基板（液晶）
- ガラス基板（OLED用）
- Crガス、薬液、Si
- Cr、ITO
- カラーフィルタ用色材（カラーレジスト/顔料）、インクジェット用インク
- フォトレジスト、現像液
- 配向膜材料（SiO2）：CVDガス材料、ポリイミド（樹脂）
- 液晶材料
- スペーサ材料（シリコン球）
- シール（封止）材（接着剤）／メインシール材／仮接着剤
- 液晶注入口封止材（紫外線硬化樹脂材料）
- 偏光フィルム
- 基板（仮配置基板）
- ポリイミド樹脂
- 正孔注入層材（有機膜）
- 正孔輸送層材（有機膜）
- 電子注入層材料（有機膜、金属化合物薄膜
- 電子注入層材料（有機膜、金属化合物薄膜
- 高分子有機EL材料
- 有機EL材料（蒸着用）
- 蒸着材料
小形流量コントローラ ラピフロー
流量センサ機能・比例制御機能・バルブ機能をユニット化し、必要な流量のコントロールをする機器です。
・IO-Link対応製品をラインナップ
・IO-Link対応製品は予防保全に対応・【適応流体・流量範囲】
・多様なガス、期待に対応
・デジタル表示機能搭載
・高速制御
・高信頼性
・小形
基本情報
【IO-Link対応】
IO-Link通信によってデータ収集に加えて上位からの遠隔操作が可能。
【システム異常検知（予知保全）】
センサ・電磁比例弁の劣化を検知する自己検知に加え、周辺システムも含めた異常を検知します。IO-Linkで警告信号の出力が可能。
【適応流体・流量範囲】
空気、窒素：0.015~50?/min
アルゴン：0.015~50?/min
酸素、都市ガス、メタン、プロパン：0.015~10?/min
水素、ヘリウム：0.06~20?/min
【制御状態が一目でわかるデジタル表示器搭載】
流量値を3桁でデジタル表示。
エラー表示の他、出力状態（スイッチ出力ON-OFF）を表示。
【0.5秒の高速制御】
シリコンマイクロマシニングを応用した白金センサチップの採用で、0.5secの高速制御が可能。
【高信頼の流量制御】
再現性：±１%F.S.
精度：±3%F.S.
取扱企業
CKD株式会社
業種：繊維 所在地：愛知県 小牧市応時 2-250
製造装置向け高純度ガスバルブで実績伸ばす
創業以来、自動化技術のパイオニアとして常に時代のニーズを先取りし、自動機械装置・機器商品の2つを軸に、さまざまな商品を開発してきたCKD。その技術は継承され、時代とともにさらなる進化を続けている。
豊富な商品ラインアップを誇るCKDでは、それらを支える技術も幅広く、分野を超えて多岐にわたっている。今後は、自動機械装置、機器商品それぞれが長年磨き上げた技術を融合させ、世界のFAトータルサプライヤーを目指す。
小形流量コントローラ ラピフロー へのお問い合わせ
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小形流量コントローラ ラピフロー
