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Cシリーズ

MKS Instruments
最終更新日: 2024年05月30日
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小型超高速マスフローコントローラ

・MEMSベースの流量センサを搭載
・100ms未満の超高速レスポンス
・Control range from 0.1 to 100% of Full Scale
・セットポイント精度：±0.8%t
・Minimal zeroとspan driftにより長期に渡る再生産性を保証
・小型のガスパネルに対応した表面実装インタフェースを実現
・セットアップと診断ためのWebブラウザを内蔵

基本情報

・Full Scale Flow Range 50 - 50,000 sccm (N2 Equivalent)
・Maximum Inlet Pressure 80 psig
・Normal Operating Pressure Differential
50 to 5000 sccm: 10 - 45 psid
10000 to 30000 sccm 15 - 45 psid
50000 sccm 30 - 45 psid
・Proof Pressure 1000 psig
・Burst Pressure 1500 psig
・Control Range Digital I/O: 0.1% to 100% of Full Scale
Analog I/O: 0.2% to 100% of Full Scale
(typical)
・Typical Accuracy ±0.8% of set point for 20 to 100% Full Scale
±0.16% of Full Scale for <20% of Full Scale
(with N2 calibration gas)
・Repeatability ±0.2% of Reading
・Zero Temperature Coefficient 0.005% of Full Scale/°C
・Span Temperature Coefficient 0.06% of Reading/°C
・Pressure Coefficient <0.025% of Reading/psi
・Response Time 100 ms typical above 10% Full Scale,
50 sccm - 5 slm Full Scale models
150 ms typical above 10% Full Scale, 10 - 50 slm Full Scale models
(per SEMI Guideline E-17-0600)
・Warm-up Time 1 min
・Operating Temperature 10 - 50°C (32 - 122°F)
・Storage Temperature 0 - 60°C (32 - 140°F)
・Fitting Type 4 VCR male, surface mount (o-ring and w-seal), or 0.25 inch compression
・External Leak Integrity <1 x 10-6
・Leak Integrity Through Closed Valve <0.1% of max. Full Scale range using valve closed override command
(to assure no flow-through, a separate positive shut-off valve is required)
・Wetted Materials Aluminum, Stainless Steel, Silicon, Silicon Oxide, Silicon Carbide, Viton, Glob Top
・Seal Material Viton
・Valve Position Normally closed
・Power Requirements 24 VDC (±10%)
・Flow Input Output Signal 0 to 5 VDC (0 to 10 VDC, optional)
・Analog I/O Connector 9-pin Type D
・RS485 Input Power Required 24 VDC (±10%)
・RS485 Connector 9-pin Type D male (power and comm.)
・RS485 Data Rate Switch Selection No switch; Set data rate via RS485
・RS485 MAC ID Switches Addresses Set address over RS485; Station addresses 0,0 to 9,9
・RS485 Network Size Up to 32 nodes
・RS485 Indicators LED PWR, RUN (green)
・Weight 310g (w/VCR fitting)
・Compliance CE

お問い合わせ

取扱企業

MKS Instruments

業種：産業用電気機器 2 Tech Drive、Suite 201 アンドーバー、MA 01810、アメリカ合衆国 

プロセス制御ソリューションのグローバルプロバイダ

MKS Instruments、Inc.は、高度な製造プロセスの重要なパラメータを測定、監視、配信、分析、実行、制御して、お客様のプロセスパフォーマンスと生産性を向上させる機器、システム、サブシステム、およびプロセス制御ソリューションのグローバルプロバイダです。当社の製品は、圧力の測定と制御、流量の測定と制御、ガスと蒸気の供給、ガス組成分析、電子制御技術、反応性ガスの生成と供給、発電と供給、真空技術、レーザー、フォトニクスのコアコンピテンシーに基づいています。

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