電源／RF電源
掲載日 2020/10/15
1.RF電源／整合器の市場動向
成膜装置やエッチング装置などでのプラズマの発生などの用途でRF電源/整合器が使用されている。半導体製造プロセスにおいて、精密な加工を実現するためには、プロセスチャンバ内で起こる現象に合わせて電源を精細に制御していく必要がある。また、安定したプロセスを再現できるようにしなければない。このため、高精度化、信頼性の向上、耐久性の向上が進められている。
RF電源と整合器を合わせたRF電源の世界市場は、製造装置市場に連動する形で拡大、2017年には1,000億円を突破、2018年には1,145億円規模に達した。製造装置需要が急落した2019年には前年比26.2％減の845億円に低下した。2020年には製造装置市場の回復に伴って同18.1％増の998億円と1,000億円近いレベルにまで拡大することが予想される。
RF電源と整合器のバランスは、RF電源で整合器を統合がした製品が増加しているため、年々RF電源の比率が高まっている。
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