GAA トランジスタのプロセス解説

掲載日 2023/03/17

11月11日に経済産業省が、2nmノード以下のロジック半導体基板確立に向けた研究開発プロジェクトの採択先を、国内８社の出資で設立したRapidus（株）に決定したと発表した。IMECやIBM等と技術連携し、短TATパイロットラインを構築して研究開発、開発終了後はロジックファンドリーの事業化を目指すとしている。
さらには先日、テレビや新聞でも、新規工場建設場所が北海道千歳市に内定という報道もあった。米中の軋轢を発端とする半導体のサプライチェーン見直しに乗る形で進められているRapidusだが（日本半導体復権の最後のチャンスとも言われている）、成功するか否かについて様々な意見が述べられている。
Rapidusについては、後日思うところを書いてみたい気もするが、ここでは2027年度に量産するという2nmノードロジックのトランジスタ製造プロセスについて、過去の学会発表などを参考にどういうものか考えてみたい。


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