アメリカの製品一覧

Endura Cirrus RT PVD Cobalt

Applied Materials,Inc

Co薄膜形成用PVDシステム

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ENDURA AMBER PVD

Applied Materials,Inc

Cuシード層形成用PVD装置

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AXCELA PVD

Applied Materials,Inc

200mm/300mmウェーハ対応配線用量産スパッタリング装

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ENDURAR AVENIR RF PVD

Applied Materials,Inc

Endura AvenirシステムのRF PVD技術は、High-k/メタルゲートアプリケーションと同様、22nm世代以降のロジックコンタクトのシリサイド化にも適応…

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ENDURA ALPSR PVD (ALPS CO & NI)

Applied Materials,Inc

高アスペクト比のゲートやコンタクトアプリケーション向けに、シンプルかつ高性能なシリサイドソリューションを提供します。

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Versys Metalシリーズ

Lam Research

困難なエッチング作業に対応できるよう、ラムリサーチの Versys Metal シリーズは柔軟性が高いプラットフォームの上に構築され、高い生産性を実…

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Kiyoシリーズ

Lam Research

ラムリサーチのKiyoシリーズは、導電体を精密かつ高い再現性で形成できる高機能でかつ高生産性を発揮します。用途によっては当社のReliantRシリ…

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FLEXシリーズ

Lam Research

重要絶縁膜エッチ工程のために差別化された技術とアプリケーションを提供する装置

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MagnaTranR 7 BiSymmetrik (MAG 7 B)

Brooks Automation Inc.

真空クラスタ ツールのハイ スループット アプリケーション向け搬送ロボット

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MagnaTranR 7 Frogleg (MAG 7 F)

Brooks Automation Inc.

真空クラスタ ツール アプリケーション向けウェーハ搬送ロボット

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