SPST Technologyの製品一覧
Sigma fxp PVD
SPST Technology
パワーデバイス、TSV,MEMSなどの形成に最適なスパッタリング装置
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エッチング装置ではシリコン深堀エッチングなどが高アスペクト形状のエッチング装置で、半導体,MEMS分野で実績を残している。スパッタリグ装置は…
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