半導体製造装置・試験／検査装置・関連部品の製品一覧

半導体の製造・試験・検査のプロセスを処理する装置、および装置で使用される部品、ユニット、モジュール

4、6インチウエハ向け洗浄装置
グローバルネット株式会社

注目

両面の水洗浄が可能な4、6インチウエハ向け洗浄装置

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8インチウエハ向け試作評価向けCMP装置
グローバルネット株式会社

注目

高剛性 幅広いCMP開発に対応可能。

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UTM-MIシリーズ

株式会社アルバック

磁気軸受を採用したコントローラ一体型ターボ分子ポンプです。 ポンプ本体とコントローラの一体化により省配線、省スペースを実現しました。

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ENTRON N300

株式会社アルバック

マルチチャンバ型スパッタリング装置

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ENTRON-EX2 W300

株式会社アルバック

マルチチャンバ型スパッタリング装置ENTRONTM-EX2 W300は、多様なプロセスを結び付ける最新のプラットフォームです。

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Segul

株式会社アルバック

GaNスパッタリングモジュール

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IH-860DSIC

株式会社アルバック

SiC用高温イオン注入装置

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枚葉式複合モジュール型成膜加工装置　uGmni-200, 300

株式会社アルバック

スパッタリング、エッチングなど複数の異なるプロセスモジュールを同一搬送コアに搭載し、柔軟なプロセス対応が可能

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FlexAL（Oxford Instruments社製）

株式会社アルバック

リモートプラズマ原子層堆積（ALD）プロセスおよび熱ALDの両方を実現

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PlasmaPro100ALE（Oxford Instruments社製）

株式会社アルバック

原子スケールの高精度エッチングが可能な装置

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「半導体製造装置・試験／検査装置・関連部品」の関連企業一覧

グローバルネット 株式会社

注目

グローバルネット株式会社（GNC）は出版やセミナーを通して、半導体やフラットパネルディスプレイの情報をタイムリーに提供することを目的に1990…

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株式会社 堀場エステック


堀場エステックは、半導体や液晶製造分野で欠くことのできない流体制御機器「マスフローコントローラ」で世界トップシェアを維持して成長し続け…

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ユアサネオテック 株式会社


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