半導体/MEMS/ディスプレイのWEBEXHIBITION（WEB展示会）による製品・サービスのマッチングサービス SEMI-NET（セミネット）

全面膜厚測定ユニット

株式会社ヒューテック

ウエハ全面の膜厚を高速測定可能な膜厚測定システム。秒間300,000ポイントをIn-Situ測定することで成膜条件や装置の異常を素早くフィードバック…

SCP-SX

株式会社SHINCRON

半導体・電子部品・PIC市場向けスパッタリング装置

CanTops_Smart Factory 要素部品

株式会社世奉

”世界最高の技術力と製品でお客様にいつも最高で認められる企業に発展しよう。” Can(出来る)＋Tops(第一人者、最高人)の合成語

Solid Source Delivery System（固体供給システム）AcroStarⓇ

株式会社高純度化学研究所

有機金属化合物（消防法危険物 第三類該当）のように発火の危険性がなく、膜中にカーボンが残留しない固体塩化物を安定的に連続気化可能な供給装…

3軸円筒座標型クリーンロボット

PHT株式会社

ガラス基板対応

3軸クリーンロボット

PHT株式会社

3軸 伸縮・旋回・上下　3軸クリーンロボット

キャリア基板受入れ洗浄装置 PWG-2501

PHT株式会社

次世代半導体向けの最先端チップレットパッケージ技術が開発されており、ガラス基板はパッケージ用キャリア基板としての適用が想定されています…

SiCウェーハ向け枚葉式自動洗浄装置

PHT株式会社

本装置は、φ150mm（6") ・φ200mm（8"）対応の SiCウェーハ枚葉式洗浄装置です。 ウェーハは、25枚入カセットでLD側に作業者がセットします。…