半導体製造装置・試験/検査装置・関連部品の製品一覧

半導体の製造・試験・検査のプロセスを処理する装置、および装置で使用される部品、ユニット、モジュール

MC3-Ⅱ

住友重機械イオンテクノロジー株式会社

最新鋭・高性能の中電流イオン注入装置

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SHX-Ⅲ

住友重機械イオンテクノロジー株式会社

極低エネルギーイオン注入を可能にした高電流イオン注入装置

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NV-GSDⅢ-180

住友重機械イオンテクノロジー株式会社

多様なアプリケーションに対応可能な、後段加速付高電流イオン注入装置の デファクトスタンダード

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Exceed400HY

日新イオン機器株式会社

パワーデバイス向け水素注入装置

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Exceed9600AH

日新イオン機器株式会社

高エネルギーイオン注入装置

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Exeed3000AHシリーズ

日新イオン機器株式会社

ハイコストパフォーマンスな中電流イオン注入装置

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Purion-XE

Axcelis Technology

高エネルギーイオン注入装置の業界標準

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Purion-H

Axcelis Technology

多用途性、スループット、均一性を提供し、所有コストを抑制できる高電流イオン注入装置

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Purion Mシリーズ

Axcelis Technology

高い生産性と高精度を両立させた中電流イオン注入装置

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Viista3000XP

Applied Materials,Inc

高エネルギーイオン注入措置

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